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伊藤 翔也 and 佐竹 うらら and 榎本 俊之,シリコンウェーハの両面研磨加工におけるウェーハ平坦性向上,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2022-08-25,2022A,0,394-395,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390295259235348480,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022a.0_394