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星出 優輝 and 竹内 光明 and 龍頭 啓允 and 高岡 義寛,イオン液体イオンビームにより形成したC-N薄膜の基板温度依存性,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-08-31,2015.2,0,1544-1544,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390295823371492480,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1544