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菊池 亜紀応 and 八尾 章史 and 毛利 勇 and 中村 雅一 and 山下 一郎 and 澤野 憲太郎 and 寒川 誠二 and 小野 崇人,中性粒子ビームエッチング技術を用いたSi量子ドットの作製と熱伝導特性,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-08-31,2015.2,0,1783-1783,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390295823371759872,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1783