著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
金沢 裕也 and 豊田 史朗 and 大島 一晟 and 鎌田 憲彦 and 鹿嶋 行雄 and 松浦 恵里子 and 嶋谷 聡 and 小久保 光典 and 田代 貴晴 and 大川 貴史 and 上村 隆一郎 and 長田 大和 and 平山 秀樹,ウェットエッチングによるサファイア表面加工基板(PSS)を用いた深紫外LED用高品質AlNテンプレートの作製,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-02-26,2015.1,0,3337-3337,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390296066524828288,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3337