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林 恭平 and 竹内 光明 and 龍頭 啓充 and 高岡 義寛,C<sub>n</sub>H<sub>2n+1</sub><sup>+</sup>イオンビームを照射したシリコン基板の照射損傷評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2014-09-01,2014.2,0,1481-1481,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390296420724396928,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1481