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橋本 洋平 and 佐々木 友也 and 柴崎 竜輝 and 古本 達明 and 小谷野 智広 and 山口 貢,両面研磨における加工物上面への研磨液供給経路の検討,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,783-783,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390297305329849984,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_783