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角田 和之 and 杉 大作 and 松井 繁 and 江畠 佳定 and 渡邉 哲也 and 長谷川 昇雄,光リソグラフィによるブレーズド回折格子製作技術の開発,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2013-03-11,2013.1,0,1496-1496,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390297372147714560,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1496