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細井 卓治 and 上西 悠介 and 箕谷 周平 and 中野 佑紀 and 中村 孝 and 志村 考功 and 渡部 平司,犠牲酸化処理が熱酸化SiO<sub>2</sub>/4H-SiC(0001)構造に及ぼす影響,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2013-03-11,2013.1,0,3281-3281,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390297372148945152,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3281