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清水 亮太 and 岩谷 克也 and 大澤 健男 and 白木 將 and 一杉 太郎,酸化物基板の最表面構造: その平坦化プロセス依存性,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2012-08-27,2012.2,0,1347-1347,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390297681110796800,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1347