Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
黒河 周平,プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会の概要，活動状況と技術動向,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,The Japan Society for Precision Engineering,2024-01-05,90,1,66-68,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390298698490275712,https://doi.org/10.2493/jjspe.90.66