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古谷 健悟 and 龍頭 啓充 and 竹内 光明 and ピヤヌット ソムマニ and 辻 博司 and 高岡 義寛,ポリイミド基板への酸素クラスターイオンビーム照射効果,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2011-03-09,2011.1,0,1745-1745,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390298775943750656,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1745