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仁村 将次 and 佐久間 克幸 and 荻野 浩司 and 榎本 智之 and 庄子 習一 and 水野 潤,三次元集積化技術のための簡易低コストハイブリッド接合,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2011-03-09,2011.1,0,2998-2998,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390298775944382080,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_2998