著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 篠原 正典 and 鈴木 英和,プラズマが誘起する表面反応の制御による膜作製,表面と真空,2433-5835,公益社団法人 日本表面真空学会,2024-02-10,67,2,42-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390299130048609152,https://doi.org/10.1380/vss.67.42