著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
北嶋 武 and 中野 俊樹,Si基板上のナノ構造材料を用いたプラズモニックプラズマ成膜,表面と真空,2433-5835,公益社団法人 日本表面真空学会,2024-02-10,67,2,65-70,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390299130048610176,https://doi.org/10.1380/vss.67.65