著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 関口 信一,特集「ドライ真空ポンプの最新動向」企画趣旨,表面と真空,2433-5835,公益社団法人 日本表面真空学会,2024-04-10,67,4,154-155,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390299760188979328,https://doi.org/10.1380/vss.67.154