任意電圧波形励起PECVDによるa-C:H成膜における希ガスの効果の検証
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of Noble Gas on a-C:H Film Deposition by Tailored Voltage Waveform-PECVD
- 公開日
- 2022-02-25
- DOI
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- 10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1462
- 公開者
- 公益社団法人 応用物理学会
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 (0), 1462-1462, 2022-02-25
公益社団法人 応用物理学会