Product Design of Silicon Wafers for 3D Stacked CMOS Image Sensor (Ⅳ) – Effect of carbon on gettering capability in Si-based molecular ion implantation –

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  • 3次元積層型CMOSイメージセンサ向けSiウェーハの製品設計（Ⅳ） –Si系分子イオン注入において炭素がゲッタリング能力に与える影響–

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