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畝田 道雄 and 檜山 道明 and 泉田 涼 and 澁谷 和孝 and 宮下 忠一 and 石川 憲一,両面同時研磨におけるキャリアと摩擦係数並びに研磨レートの関係,精密工学会誌,0912-0289,公益社団法人 精密工学会,2019-09-05,85,9,793-799,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390564227300176128,https://doi.org/10.2493/jjspe.85.793