著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
藤岡 洋 and 上野 耕平 and 小林 篤 and 太田 実雄,スパッタリング法による高品質窒化物半導体の形成とデバイス応用,応用物理,03698009,公益社団法人 応用物理学会,2017-07-10,86,7,576-580,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390564227308256896,https://doi.org/10.11470/oubutsu.86.7_576