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河野 好映,IoT時代におけるMEMSセンサの役割と要求事項への考察,マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集,2434-396X,一般社団法人 エレクトロニクス実装学会,2018,28,0,301-306,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390564227324510080,https://doi.org/10.11486/mes.28.0_301