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岡田 尚樹 and 鈴木 広大 and 峯田 貴,FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,1341-8939,一般社団法人 電気学会,2019-11-01,139,11,383-384,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390564227333930112,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.139.383