著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 荒川 一郎,表面と真空の科学と技術,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2018-09-10,61,9,574-577,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390564238020278656,https://doi.org/10.1380/vss.61.574