著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
水野 涼太 and 鈴木 研 and 三浦 英生,半導体埋め込み型配線応力評価用センサの開発,M&M材料力学カンファレンス,2424-2845,一般社団法人 日本機械学会,2018,2018,0,PS04,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390564238100838784,https://doi.org/10.1299/jsmemm.2018.ps04