著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 検査技術委員会,3次元積層集積回路の検査技術の現状と展望,エレクトロニクス実装学会誌,13439677,一般社団法人エレクトロニクス実装学会,2020-01-01,23,1,32-36,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390565134815288448,https://doi.org/10.5104/jiep.23.32