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山田 恭平 and 中川 優希 and 岡 智絵美 and 櫻井 淳平 and 吉田 沙織 and 清元 智文 and 秦 誠一,逆リフトオフ法を用いたMEMSミラー構造体の作製,年次大会,2424-2667,一般社団法人 日本機械学会,2019,2019,0,J22208P,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390565134839467520,https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2019.j22208p