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張 玉龍 and 鄒 艶華 and 謝 恵君,平面磁気研磨法の平面品質を改善に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2020-08-20,2020A,0,170-171,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390568617217299328,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020a.0_170