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高橋 隆一 and 武田 文雄 and 池田 長康 and 直江 正彦,Dependence of C-AXIS Orientation for AIN and ZnO Films on Substrate Temperature and Gas Pressure in Magnetron Sputtering,富山大学工学部紀要,03871339,富山大学工学部,1991-03,42,,43-47,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390572174760388736,https://doi.org/10.15099/00004422