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檀 良 and 藤原 圭介 and Dang Ryo and Fujiwara Keisuke,プロセスシミュレータ SUPREM-IVにおけるLDD-MOSFETの解析,法政大学工学部研究集報,04412494,法政大学工学部,1994-03,30,,7-11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390572174782739456,https://doi.org/10.15002/00004305