著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 角田 功 and 佐道 泰造 and 宮尾 正信,Furnace Annealing Behavior of B-deped Poly-SiGe Formed on Insulating Film,九州大学大学院システム情報科学紀要,13423819,九州大学大学院システム情報科学研究院,2003-09-26,8,2,151-154,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390572174796984448,https://doi.org/10.15017/1515848