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宝栄 周弥 and 桐谷 乃輔 and 吉村 武 and 芦田 淳 and 藤村 紀文,ALD法を用いて作成したSi直上Al:HfO<sub>2</sub>準安定相の結晶化過程,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,897-897,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390573407594838528,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_897