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堀田 将也 and 西里 洋 and 遠江 栄希 and 柴 育成 and 前田 拓哉 and 藤井 知,ミニマルRFマグネトロンスパッタリング装置によるAlN薄膜の形成,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,1810-1810,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390573407640241024,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1810