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北嶋 武 and 三宅 万智子 and 桑田 渉真 and 中野 俊樹,波長選択励起金ナノ粒子プラズモンによるシリコンのラジカル窒化,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,1145-1145,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390573407661307392,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1145