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成澤 謙真 and 内山 潔,スパッタ法によるLiイオン伝導性固体電解質薄膜の作製と評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-02-28,2020.1,0,1216-1216,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390573715151790976,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1216