次世代CMOSイメージセンサ向け多元素分子イオン注入ウェーハにおける水素脱離挙動の反応速度論による解析と考察
書誌事項
- タイトル別名
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- Reaction Kinetic Analysis of Desorption Behavior of Hydrogen in Projection Range of Multi-Element Molecular Ion Implanted Epitaxial Wafer for Advanced CMOS image sensors
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2356-2356, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会