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畑 和史 and 加納 直樹 and 中野 裕介 and 田中 康規 and 上杉 喜彦 and 石島 達夫,変調-無変調Ar/CH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub>誘導熱プラズマの時間直列照射法を用いた多結晶ダイヤモンド膜生成の圧力依存性,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2019-09-04,2019.2,0,1842-1842,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390574290253503872,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1842