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保坂 拓己 and 山形 栄人 and 大澤 健男 and Sergey Grachev and Herve Montigaud and 石垣 隆正 and 大橋 直樹,角度制御型マグネトロンスパッタリング装置を用いた酸化亜鉛薄膜の作製と成膜条件の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,3826-3826,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390574909315783680,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3826