著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 今園 孝志 and 西原 弘晃 and 浮田 龍一 and 笹井 浩行 and 長野 哲也,X線多層膜レプリカ回折格子の耐熱性研究,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-03-05,2018.1,0,1733-1733,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390575130484803840,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1733