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松本 悟 and 佐藤 威友 and 成田 哲生 and 加地 徹 and 橋詰 保,光電気化学反応を利用したn-GaN表面層の低損傷エッチング,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2017-08-25,2017.2,0,3073-3073,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390575418086794752,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3073