Characteristic of Carbon Cluster Ion Implanted Epitaxial Silicon Wafers (2) - Hydrogen Passivation Effect of Room Temperature Bonding Wafer -

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  • 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(2) ー 常温接合プロセスにおける水素のパッシベーション効果 ―

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