著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
井内 徹,シリコン半導体ウエハのin situ温度計測,計測と制御,04534662,公益社団法人 計測自動制御学会,2008-05-10,47,5,395-402,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390575683445802112,https://doi.org/10.11499/sicejl.47.395