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奥村 洋史,ISO/TR 22335 スパッタリング速度の測定法： メッシュ・レプリカ法についての技術的検討,Journal of Surface Analysis,1341-1756,一般社団法人 表面分析研究会,2022,28,3,179-196,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390575960083307008,https://doi.org/10.1384/jsa.28.179