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長谷川 雄一 and 小川 大輔 and 中村 圭二 and パーク スーナム and 小林 理 and 菅井 秀郎,円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマの生成Ⅲ,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2016-09-01,2016.2,0,1624-1624,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390576656680918528,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1624