著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 小笠原 伊織 and 松村 正太郎 and 大坂 泰斗 and 矢橋 牧名 and 山内 和人 and 佐野 泰久,狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータのワイヤ電極を用いた大気圧プラズマによる無歪みエッチング,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2022-08-25,2022A,0,71-71,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390576734212149120,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022a.0_71