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赤崎 翔太 and 鈴木 研 and 三浦 英生,結晶粒界品質制御によるAl薄膜配線のマイグレーション耐性向上法に関する検討,年次大会,2424-2667,一般社団法人 日本機械学会,2022,2022,0,J011-05,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390577043837722624,https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2022.j011-05