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白澤 渉 and 末岡 浩治 and 山口 直 and 前川 和義,C<sub>3</sub>H<sub>5</sub>クラスターイオン注入による近接ゲッタリングサイトに関する第一原理解析,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-08-31,2015.2,0,3283-3283,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390577298349613440,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3283