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山田 博信 and 小川 裕平 and 岡 大輝 and 齊藤 敦 and 大嶋 重利 and 有吉 誠一郎 and 中島 健介,TaN薄膜を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器の作製,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-02-26,2015.1,0,2129-2129,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390577541500599296,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2129