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奥村 宏典 and 谷保 芳孝 and 山本 秀樹,MOVPE法によるSiC基板上の無極性面高Al組成AlGaN成長,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2015-02-26,2015.1,0,3342-3342,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390577541501540480,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3342