Study of fine groove machining using poly-crystalline diamond (PCD) blade tool
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- Konishi Haruto
- Kindai University
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- Fujita Takashi
- Kindai University
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- Fukunaga Ryota
- Kindai University
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- Izumi Yasuo
- Shin-Nihon Tech. Inc.
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- Watanabe Junji
- Shin-Nihon Tech. Inc.
Bibliographic Information
- Other Title
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- PCDブレード工具による微細加工技術に関する研究
Description
<p>パワー半導体デバイスに必要とされるSiC(炭化ケイ素)に対し、PCD(焼結ダイヤモンド)ブレード工具を用いた微細幅の溝入れ加工を行った。ブレード回転時の静的な振れに加え、高速回転時の動的な振れをレーザ変位計で測定し、振れの挙動を抑えた。また、ピコ秒レーザ加工によりブレード先端部の鋭利な切れ刃再生を試みた。極薄ブレードによる微細溝と高密度切れ刃による鏡面状態とを得る新しい精密加工技術の実現を目指す。</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2023S (0), 248-249, 2023-03-01
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390578780306335872
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
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- Abstract License Flag
- Disallowed