著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 服部 将太郎 and 新谷 賢司 and 小林 賢治 and 堀内 敏行 and 小林 宏史,円錐ミラーを用いた円筒内面円周一括露光の高精細化と観察光学系の導入,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,734-735,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390578780306515072,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_734