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シジャン チャン and 國井 一輝 and 荻野 明久 and 永津 雅章,共振器-スロット型ランチャーを用いた915MHz表面波励起プラズマの生成と大面積表面プロセスへの応用,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2011-08-16,2011.2,0,1237-1237,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390579852779369344,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1237